名称:铜材料用表面处理液、铜材料的表面处理方法、带表面处理被膜的铜材料和层合构件
公开(公告)号:CN101400826
公开(公告)日:2009.04.01
主分类号:C23C22/34(2006.01)I
申请(专利权)人:日本帕卡濑精株式会社
地址:日本东京都
发明(设计)人:宫崎雅矢;林洋树;村上邦佳
国际申请:2007-03-15PCT/JP2007/055255
国际公布:2007-09-20WO2007/105800日
进入国家日期:2008.09.12
专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司
代理人:熊玉兰;李平英
摘要
提供铜材料用表面处理液、表面处理方法、及采用该方法在铜材料表面形成的表面处理被膜。铜材料用表面处理液,其特征在于,含有:铜的氧化蚀刻剂、包含选自Ti、Zr、Hf及Si中的至少一种金属元素的化合物和作为HF供给源的含氟化合物;表面处理方法,其特征在于,将铜和铜合金原材料浸渍到上述处理液中;表面处理被膜,其特征在于,所述被膜是采用上述表面处理方法在铜及铜合金上形成的,含有选自Ti、Zr、Hf及Si中的至少一种金属元素、Cu、O和F;层合构件,其特征在于,含有表面处理被膜的铜原材料和树脂层介由表面处理被膜相接合。